光電轉換器件是光電光譜儀接收系統的核心部分

　　電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀又稱(chēng)為ICP光譜儀、ICP原子發(fā)射光譜儀，以電感耦合高頻等離子體為激發(fā)光源，利用每種元素的原子或離子發(fā)射特征光譜來(lái)判斷物質(zhì)的組成，進(jìn)行元素的定性與定量分析。

　　可以看到，ICP光譜儀主要由進(jìn)樣系統、電感耦合等離子體光源(ICP)、光譜儀的分光(色散)系統以及檢測器-光電轉換器件等部分組成。其中，進(jìn)樣系統是ICP光譜儀的重要組成部分之一，也是當前ICP光譜分析研究中較為活躍的領(lǐng)域，涵蓋液體、氣體或者固體進(jìn)樣。電感耦合等離子體光源(ICP)的重要性不言而喻，它是利用通過(guò)高頻電感耦合產(chǎn)生等離子體放電的光源。色散系統就是，將復合光通過(guò)色散元素分光，從而得到一條按照波長(cháng)順序排列的光譜，即將復合光束分解為單色光。光電轉換器件是光電光譜儀接收系統的核心部分，主要是利用光電效應將不同波長(cháng)的輻射能轉化成光電流的信號。

　　ICP光譜儀的分析過(guò)程主要分三步，即激發(fā)、分光和檢測。其一，激發(fā)光源使試樣蒸發(fā)汽化，離解或分解為原子狀態(tài)，原子也可能進(jìn)一步電離成離子狀態(tài)。原子及離子在光源中激發(fā)發(fā)光；其二，利用分光器把光源發(fā)射的光色散為按波長(cháng)排列的光譜；其三，利用光電器件檢測光譜，按所測得的光譜波長(cháng)對試樣進(jìn)行定性分析，或按發(fā)射光強度進(jìn)行定量分析。